ما هي خطوات عملية تنظيف رقاقة السيليكون؟

يمكن تقسيم الشوائب الممتزة على سطح رقاقة السيليكون إلى ثلاثة أنواع: النوع الجزيئي والنوع الأيوني والنوع الذري. من بينها، قوة الامتزاز بين الشوائب الجزيئية وسطح رقاقة السيليكون ضعيفة، ومن السهل نسبيًا إزالة جزيئات الشوائب هذه. معظمها عبارة عن شوائب دهنية، وهي كارهة للماء ولها تأثير إخفاء على إزالة الشوائب الأيونية والذرية.
لذلك، عند تنظيف رقائق السيليكون كيميائيًا، يجب إزالتها أولاً. الشوائب الأيونية والذرية الممتزة هي شوائب ممتزة كيميائيا، وقوى امتصاصها قوية.
بشكل عام، كمية الشوائب الذرية الممتزة صغيرة، لذلك أثناء التنظيف الكيميائي، تتم إزالة الشوائب الأيونية الممتزة أولاً، ومن ثم تتم إزالة الشوائب الأيونية المتبقية والشوائب الذرية.
وأخيرا، شطف رقاقة السيليكون مع الماء منزوع الأيونات عالي النقاء، ومن ثم الحرارة والجافة أو تدور الجافة للحصول على رقاقة السيليكون مع سطح نظيف.
باختصار، العملية العامة لتنظيف رقائق السيليكون هي: الإزالة الجزيئية ← إزالة الأيونات ← إزالة التحلل ← شطف الماء منزوع الأيونات. بالإضافة إلى ذلك، من أجل إزالة طبقة الأكسيد على سطح رقاقة السيليكون، غالبًا ما تتم إضافة خطوة نقع حمض الهيدروفلوريك المخفف.