أين يتم استخدام منصات تلميع رقاقة السيليكون؟

الرقائق المصقولة هي المنتج الأكثر استخدامًا، ويتم إنتاج منتجات رقائق السيليكون الأخرى عن طريق المعالجة الثانوية على أساس الرقائق المصقولة.
الرقائق المصقولة هي رقائق السيليكون الأساسية والمستخدمة على نطاق واسع. يمكن استخدام الرقائق المصقولة مباشرة لصنع أجهزة أشباه الموصلات، وتستخدم على نطاق واسع في رقائق الذاكرة وأجهزة الطاقة، ويمكن استخدامها أيضًا كمواد ركيزة للرقائق الفوقي، ورقائق السيليكون SOI وأنواع أخرى من رقائق السيليكون.
مع الانكماش المستمر لعرض الخط المميز للدوائر المتكاملة والدقة المتزايدة للطباعة الحجرية، فإن التفاوت الصغير للغاية في رقاقة السيليكون سوف يتسبب في تشوه وخلع رسومات الدوائر المتكاملة. تواجه تكنولوجيا تصنيع رقائق السيليكون متطلبات وتحديات أعلى وأعلى. حجم جسيمات سطح الرقاقة ونظافتها لهما أيضًا تأثير مباشر على إنتاجية منتجات أشباه الموصلات.
ولذلك، فإن عملية التلميع مهمة جدًا لتحسين تسطيح ونظافة سطح رقاقة السيليكون. المبدأ الرئيسي هو تحقيق استواء سطح رقاقة السيليكون أشباه الموصلات وتقليل الخشونة عن طريق إزالة طبقة الضرر المتبقية على السطح المعالج.