ما هي درجة الرقاقة؟
الشق عبارة عن أخدود صغير يتم قطعه مباشرة أسفل رقاقة السيليكون، وعادة ما يكون على شكل V أو U. الشق لديه وظيفتين. الأول هو تحديد الاتجاه البلوري لرقاقة السيليكون، مثل<100>, <110>, <111>، وما إلى ذلك. وتتمثل الوظيفة الأخرى في تمكين وضع رقاقة السيليكون ومحاذاتها بشكل صحيح في معدات تصنيع أشباه الموصلات. بشكل عام، يتم العثور على الشقوق في الرقاقات مقاس 8-بوصة و12-بوصة.
كيف تبدو نوتش؟
يجب أن يتوافق حجم الشق بشكل صارم مع معايير SEMI، كما هو موضح في الشكل أعلاه:
1. يمثل Vw العرض الإجمالي للشق، ويرتبط حجمه بقطر وسمك رقاقة السيليكون.
2. Vh هو عمق الشق، الذي يشير إلى المسافة العمودية من حافة رقاقة السيليكون إلى أسفل الأخدود. ويتراوح بشكل عام من 1.0 إلى 1.25 ملم. Vh أمر بالغ الأهمية لضمان دقة محاذاة الشق.
3. AngV، أي زاوية الشق. AngV هي زاوية الشق، وهي الزاوية بين حواف الأخدود على كلا الجانبين. تتراوح بشكل عام بين 89 درجة و 95 درجة. تلعب هذه الزاوية دورًا حاسمًا في هندسة الشق وتحديد موضعه.
4. يمثل R1 وR2 نصف قطر الزوايا على جانبي الشق. يحدد هذان الشعاعان نعومة زوايا الأخدود، ويؤثران على تركيز الضغط في الشق، ويؤثران على الخواص الميكانيكية لرقاقة السيليكون.
5. Vr هو نصف قطر الانحناء في الجزء السفلي من الشق، مما يشير إلى حجم القوس في الجزء السفلي من الأخدود. يمكن لـ Vr تغيير شكل المنحنى ونعومة الشق. يمكن لـ Vr الأكبر أن يجعل الجزء السفلي من الشق مسطحًا، مما يساعد على تقليل تركيز الضغط.
6. اتجاه الشق: اتجاه الأخدود يكون موازيًا للاتجاه البلوري المحدد للرقاقة، ويُسمح بالانحراف بمقدار ±2 درجة.
