رقائق السيليكون هي حاملات معظم الرقائق. ومع ذلك ، فإن قطعة من رقاقة السيليكون تخفي العديد من التفاصيل غير المعروفة ، مثل: ما هي التوجهات البلورية للرقائق السيليكون؟ كم عدد حواف تحديد المواقع؟ كيف يتم وضع حافة المواقع؟ ما هو الفرق بين حافة المواقع وأخدود تحديد المواقع؟ وهلم جرا. دعنا نشرح ذلك بالتفصيل اليوم.
ما هي حافة المواقع\/الأخدود؟
يتم استخدام أخدود تحديد المواقع (Notch) لتحديد رقائق السيليكون فوق 8 بوصات (شاملة) ، ويستخدم حافة المواقع (مسطحة) لتحديد رقائق السيليكون أقل من 8 بوصات.
تعد حافة تحديد موقع رقاقة السيليكون جانبًا قصيرًا من رقاقة السيليكون ، وأخدود تحديد المواقع هو من الدرجة نصف الدائرية أو على شكل V على الحافة.
كيف يتم تصنيع أخاديد\/حواف تحديد المواقع؟
بعد استخدام طريقة CZ لسحب السبيك ، يجب قطع الطرفين ، ثم يكون عمود السيليكون أرضًا شعاعيًا للحصول على قطر مناسب ، ثم يتم قطع جزء من عمود السيليكون للحصول على حافة المواقع ، وأخيراً ، يتم تقطيع عمود السيليكون إلى سقوط السيليكون واحدًا تلو الآخر بآلة ذات سلك أو آلة داخلية.
العلاقة مع التوجه البلوري و
بشكل عام ، فإن حافة المواقع فقط لديها وظيفة الإشارة إلى الاتجاه البلوري ونوع المنشطات. يتم تحديد الاتجاه البلوري ونوع المنشطات من رقاقة السيليكون وفقًا لموضع وعدد حواف تحديد المواقع. سيكون أخدود تحديد المواقع في أسفل رقاقة السيليكون ، ولا يمكن رؤية اتجاه الكريستال ونوع المنشطات بشكل حدسي من خلال أخدود تحديد المواقع. التوجهات البلورية الشائعة<100>, <110>, <111>، وأنواع المنشطات هي من النوع N و P-type.
عدد حواف تحديد المواقع من رقاقة السيليكون هو واحد أو اثنين. نوع رقاقة السيليكون مع حافة تحديد موقع واحدة فقط هو p-type<111>. إذا كان للرقاقة السيليكون حواف تحديد موقع ، فإن حافة تحديد المواقع الأطول هي حافة المواقع الرئيسية ، والأقصر هي حافة تحديد المواقع الثانوية. تكون حافة المواقع الرئيسية مريحة بشكل أساسي لمحاذاة رقاقة السيليكون في عملية أشباه الموصلات ، في حين تشير حافة تحديد المواقع الثانوية إلى الاتجاه البلوري ونوع المنشطات. توجد حافة المواقع الرئيسية في أسفل رقاقة السيليكون ، في حين أن موضع حافة تحديد المواقع الثانوية لا يتم إصلاحه ويتغير مع تغيير اتجاه البلورة ونوع المنشطات من الرقاقة.
بشكل عام ، يبلغ طول حافة تحديد المواقع الرئيسية لويفر 2- بوصة 15.8 مم ، وطول حافة تحديد المواقع الرئيسية لويفر {3}} بوصة 32.5 مم ، وطول حافة المواقع الرئيسية للويفر {6}} بوصة 57.5 مم.
عندما تكون الزاوية بين حافة المواقع الرئيسية وحافة تحديد المواقع الثانوية 45 درجة ، فإن نوع رقاقة السيليكون هو نوع N.<111>؛ عندما تكون الزاوية بين حافة المواقع الرئيسية وحافة تحديد المواقع الثانوية 90 درجة ، فإن نوع رقاقة السيليكون هو نوع p<100>؛ عندما تكون الزاوية بين حافة المواقع الرئيسية وحافة تحديد المواقع الثانوية 180 درجة ، فإن نوع رقاقة السيليكون هو نوع N.<100>. منذ<110>الاتجاه البلوري ليس اتجاهًا كريستالًا للسيليكون السائد ، لا يوجد معيار لتمثيله. ال<110>يمكن تمثيل اتجاه البلورة وفقًا لمعايير مورد Wefer Silicon.
تأثير التوجه البلوري على تقنية أشباه الموصلات
على المستوى البلوري (100) ، يكون ترتيب ذرات السيليكون رباعيًا ، بينما على المستوى البلوري (111) ، يكون ترتيب ذرات السيليكون سداسية. نظرًا لأن ذرات السيليكون على المستوى البلوري (111) أكثر إحكاما ، فإن تفاعلها الكيميائي منخفضة نسبيًا ، في حين أن المستوى البلوري (100) هو معاكس وله تفاعل كيميائي أعلى.
لذلك ، يحفر السيليكون على (100) من المستوى البلوري بشكل أسرع من السيليكون على المستوى البلوري (111) ، ومعدل أكسدة المستوى البلوري (111) عادة ما يكون أقل من مستوى البلورة (100).
تأثير تركيز المنشطات للرقائق السيليكون على عمليات أشباه الموصلات
أثناء عملية الحفر ، تزيد المنشطات من توصيل السيليكون ، مما يجعله أكثر عرضة للحفر الكهروكيميائي. سوف تؤدي تركيزات المنشطات المختلفة إلى معدلات حفر مختلفة ، وعادة ما تكون السيليكون المخدر للغاية بشكل أسرع.
أثناء عملية الانتشار ، سيؤثر تركيز المنشطات في رقاقة السيليكون أيضًا على معدل انتشار المنشطات في السيليكون. سيؤدي السيليكون المخدر للغاية إلى انتشار Dopant بشكل أعمق.
