كيفية حساب اتساق ترسب الفيلم الرقيق؟

ما هو توحيد ترسب الفيلم الرقيق؟

يشير اتساق الغشاء الرقيق إلى اتساق توزيع سمك الغشاء الرقيق عبر الرقاقة بأكملها. ويعني الاتساق الجيد أن سمك الغشاء الرقيق قريب جدًا في كل موضع على الرقاقة.

ما هي أنواع تجانس الفيلم الرقيق؟

بشكل عام، يتم النظر في الأنواع التالية:

●التوحيد داخل الرقاقة:التوحيد داخل الرقاقة الواحدة.

●تجانس الرقاقة إلى الرقاقة:التوحيد بين الرقاقات المختلفة.

●التوحيد من قطعة إلى قطعة:التوحيد بين دفعات مختلفة من الرقائق.

كيف يتم حساب التوحيد؟

باستخدام التوحيد داخل الرقاقة كمثال، يتم حساب الانحراف المعياري الخاص به باستخدام الصيغة:

تحسب هذه الصيغة الجذر التربيعي لمتوسط ​​الفروق التربيعية بين كل نقطة بيانات ومتوسط ​​البيانات.

σ (الانحراف المعياري):يمثل درجة تشتت البيانات؛ فكلما كان الانحراف المعياري أكبر، كلما كان التشتت أكبر.

N:العدد الإجمالي لنقاط البيانات المقاسة.

تي:قيمة سمك نقطة البيانات i.

يقصد:القيمة المتوسطة لجميع نقاط البيانات.

(ti−المتوسط)^2:الفرق التربيعي بين كل نقطة بيانات والمتوسط.

∑: خلاصة.

الصيغة صعبة الفهم إلى حد ما، لذا إليك مثال:

افترض أن لدينا مجموعة من نقاط بيانات سمك الفيلم الرقيق: 55.1، 54.8، 55.3، 54.9، 55.0، 54.7، 55.2، 54.9، 55.1، 54.8.

●أولاً، احسب متوسط ​​هذه النقاط العشر: المتوسط ​​= 54.98.

●ثم احسب الفرق التربيعي بين كل سمك والمتوسط: {{0}}.0144، 0.0324، {{10}}.1024، 0.0004، 0.0004، 0.0784، 0.0484، 0.0004، 0.0144، 0.0324.

●اجمع هذه الفروق التربيعية وأوجد المتوسط: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.

●وأخيرًا، احسب الانحراف المعياري: σ=0.193.